小飞矿  

日前，美国RTEC公司副总经理肖军博士来我院做了题为“化学机械抛光研发设备及在线检测”的报告。肖军博士多年在美国硅谷从事化学机械抛光机的研究开发以及半导体抛光液的研究工作，对国内外相关行业的发展状况非常了解。 在报告过程中，肖博士生动具体的阐述了化学机械抛光机、抛光液以及化学机械抛光机理等方面的内容，并耐心的解答了我院员工提出来的问题，对化学机械抛光液的研究提出了独到见解。报告全过程生动活泼，气氛活跃。