◆规格
▼UTS-2000
机种 | UTS-2000 | |
测量方式 | FT/IR 干渉膜厚测量法 | |
测量配置 | 反射、透过（选配） | |
样品尺寸 | 20 × 20 ～ 1200 × 1200μm | |
显示器 | 内置CMOS相机确认测量位置 | |
●测量范围／精度 | ||
测量膜厚范围 | 0.25μm～750μm（Siの場合） | |
测量膜厚再现性 | 0.005μm以下 (同一点繰返し測定時、Si の場合) | |
●XY样品台 | ||
距离 | 200mm×200mm | |
驱动分辨率 | 2μm | |
●数据处理部 | ||
对应OS | Windows 7 Professional | |
控制装置 | JASCO光学管理器控制光学系统／控制XY样品台／控制搬送机（选配） | |