▼概要
MSV-5000系列是测量紫外区域到近红外区域广范围波长领域内的微小样品以及微小部位的透过?反射测量的显微分光系统。广泛应用于电子元件的透过?反射特性的评价、半导体的能隙测量，计测膜厚、功能性结晶光学特性评价、色彩分析等领域。
◆特点
可以测量从紫外区域到近红外区域连续的透过?反射光谱*1 搭载具有高波长分辨率和波长准确性的单色器 双光束光学系统优异的测光稳定性测量领域尺寸*小φ10μm *2样品观测采用高解像度照相机画像标配偏光测量功能搭载自动XYZ样品台（选项）映射测量?多点测量JASCO光谱管理器实现简单轻松的操作环境
*1. MSV-5200/5300
*2. *小可测量尺寸根据测量条件?测量样品而不同。▼规格
▼MSV-5000
机种名 | MSV-5100 | MSV-5200 | MSV-5300 |
分光器部 | 车尔尼特纳光学系统单单色器 双光速方式 | ||
光源 | 30W氘灯、 20W卤素灯 | ||
测量波长范围 | 200～900nm | 200～2700nm | 200～1600nm |
检测器 | 光电子倍增管 | 光电子倍増管、冷却型PbS光导电素子 | 光电子倍増管、冷却型InGaAs光电二级管 |
测光方式 | 透过?反射测量 | ||
观察 | 高解像度照相机、光学放缩、内置ATOS、照明：LED | ||
物鏡 | 対物卡塞格林镜、10倍、16倍、32倍、可选其一 | ||
集光鏡 | 集光卡塞格林镜、10倍、16倍、32倍、可选、集光镜自动调节功能 | ||
样品台 | 手动台、自动XYZ台（选项）、控制杆（选项） | ||
软件 | JASCO光谱管理器 Ver.2.0 | ||
対应OS | Microsoft Windows7 Professional | ||
标准程序 | 显微光谱测量（点测量、显微画像保存）、显微光谱解析 | ||
自动控制XYZ样品台 | 样品台移动、区域映射、线测量、多点测量、显微固定波长成像测量、自动聚焦、多通道画像 | ||