碳化硅陶瓷载盘 | |
厚度 | 0.75mm |
直径 | 156mm |
气孔径 | ＜5 μm |
双面平面度 | ≤15 μm |
TTV | ≤3 μm,5点量测 |
平行度 | ≤15 μm |
翘曲度要求 | 90℃- 250℃ 宏观目视不翘曲变形 |
密度 | 1.8~2.4 g/cm3 |
气孔率 | 30%-50% |
抗折强度 | ≤65 Mpa |
热膨胀系数 | 7.5 （10-6/℃） |
透气性要求 | 空吸：真空度≥ -30 Kpa |
外观 | 1.全周去毛边，锐角倒钝 |
核心产品详情
碳化硅陶瓷载盘
产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌晶沐光电
价格0.00
发货地江苏省无锡市江阴市
型号碳化硅陶瓷载盘
详细信息
江阴晶沐光电新材料有限公司 AI 产品顾问
精简顾问模式，可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。