材料类型

220nm - 2500nm

中等纯度石英（天然或合成）

高纯度石英（可能为合成或熔融石英）

高硼硅玻璃（含硼氧化物）

主要成分

SiO₂（>99.99%）

SiO₂（>99.9%）

SiO₂（>99.9%）

SiO₂（约81%）、B₂O₃（约13%）

羟基含量

高（约1000 ppm）

低（约200 ppm）

低（通常<10 ppm）

低（<10 ppm）

热膨胀系数

0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀）

0.55 × 10⁻⁶ /K（极低膨胀）

热膨胀系数低

3.25 × 10⁻⁶ /K（低膨胀）

耐热性

极高（软化点约1700°C）

极高（软化点约1700°C）

极高，耐高温

较高（软化点约820°C）