ZL650型多晶硅铸锭炉技术指标 | |
硅锭尺寸 | 840mm×840mm×390mm |
生产率 | 600kg～650kg/炉 |
生产周期 | ～70hr,产能～7.5MW/年 |
**温度 | 1600℃ |
常用工作温度 | 1560℃ |
硅锭生长速率 | 1.2-1.4cm/hr |
炉内极限真空度 | 1Pa |
系统漏率 | <0.0075Pa.m3/s |
氩气 | ～100m3/锭 |
冷却水 | 约140L/min |
额定加热功率 | 165kW |
每炉加热器功耗 | ～4000度（投料650kg） |
其他能耗 | ～500度 |
单位能耗 | ～7度/kg |
铸锭良率 | 平均大于70%（正常配料） |
转换效率 | 17.4%-17.6% |
准单晶生产能力 | 具备 |
高效多晶生产能力 | 具备 |
多晶硅铸锭炉