影响处理效果的主要因素
通过设备改进和实验室试验，主要从影响UV光催化治理VOCs效率的主要因素UV波长，起始温度，初始浓度，相对湿度，停留时间，反应介质等进行研究，找到zui佳反应效率和zui低能耗。
(1) 废气浓度的影响：UV光催化治理VOCs适合的应用范围主要包括喷涂车间、印刷、电子、制药、食品等行业产生的低浓度有机废气，对于20-200ppm以下的浓度效果较好，随着VOCs浓度增高，降解效率也会随之降低。
(2) 低相对湿度的影响：对于一定的湿度条件下，氧气吸收了大部分185nm紫外光，但是随着湿度的进一步增加，一部分是水蒸气与氧气竞争吸收185nm波长的紫外光，水蒸气吸收了更多的185nm紫外光，同时产生更多羟基自由基。水蒸气与活性氧反应生成羟基自由基，羟基自由基的氧化性要强于臭氧和活性氧，从而光解的速度明显加快，促进单位时间内对于废气去除率的增加，试验证明相对湿度在30-65%这个范围，光解效率是上升的，相对湿度超过70%后随之逐渐下降。
(3) 风速的影响
(4) 光源的影响：目前，一般选择185nm和254nm两个波段的真空紫外灯，但市场上的UV灯管质量良莠不齐。
目前，市场上主要的紫外灯都是低压汞灯（液汞或汞齐灯），发出紫外线的机理是利用汞等离子体状态的激发-发射光，其中185nm和254nm是其特征波谱。
通过对比185nm和254nm的透过率，灯管材质一般选合成石英。
(5) 合理的设备空间布局和结构：对于净化设备的制造也有一些问题要注意，目前UV光催化治理VOCs设备的自动化程度低，基本还没有自动检测和监控功能，所以对产品的整体效果不能够进行有效的效率评估。要合理的处理好催化剂的布置、数量，要准确处理好透光性和气体的流速，要进行合理的能量匹配和结构优化，否则，很多设备的有效去除率是远远不够的。
不同的灯管排布方式
紫外灯的光功率随距离衰减很快，因此光解部分的紫外灯不能排布太分散，否则光解空间的紫外灯光功率太低，导致降解效率急剧下降。当然太密也不行，一方面温度会太高，另一方面镇流器不好放置。建议光解紫外灯间距不应该大于10厘米，光催化部分紫外灯间距不大于10厘米，灯到光触媒网的间距不大于8厘米较好。