三氯氢硅在线色谱分析仪三氯氢硅作为制造多晶硅的主要原料，其中二氯二氢硅的含量对优化工艺十分重要，目前一般都是取样到实验室进行分析。实际中由于三氯氢硅的化学和物理特性，使本样品取样分析非常危险和困难，且取样到实验室分析对在线生产的指导时间滞后性太大。我们通过现场实地考察，并与现场各位应用专家进行深入交流，设计可应用于三氯氢硅在线分析的在线色谱。可以做到实时分析现场管道内样品组分的变化，从而根据变化情况进行优化。
使用本设备可以每10分钟分析一组现场管道内三氯氢硅中二氯二氢硅的变化情况，通过4-20ma将二氯二氢硅的含量数据传送给DCS系统，以便现场工艺专家可以对多晶硅的生产工艺进行优化。
三氯氢硅在线色谱分析仪是我们自主研发的在线分析仪器，隔爆型设计，无需大量仪表风吹扫，模块化设计，保证高可靠性，客户定制方案开发，安装调试测试为一体的交钥匙工程服务体系。