BP系列双极溅射电源

BP系列双极溅射电源主要应用于等离子辅助薄膜沉积 PECVD 和双阴极溅射镀膜领域。以其优良的控制算法,能够提供稳定可靠的双极性输出,并对功率、电压、电流、频率和脉冲时间等提供精确的输出控制。

• • 采用模块化设计,按照行业标准设计。

  • 波形和频率灵活可调。

  • 双极性、单极性、直流、脉冲多种模式合一。

  • 高稳态功率输出。输出稳定性 0.2%。

  • 电弧主动抑制技术。

  • 极快的电弧响应。

  • 极低的电弧携带能量。小于 0.3mJ/kw 的能量携带。

  • 丰富的通讯接口。

  • 控制指令的快速响应。