系统配置
系统类型:全自动化干燥/干燥晶圆尺寸:150mm或200mm工艺可行·EFEM:2-盒式，传输机器人中间机器人
核心产品详情
SiC CMP抛光设备
产品参数
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价格0.00
发货地江苏省无锡市锡山区
型号SiC CMP抛光设备
详细信息
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