产品介绍
碳化硅脱脂烧结一体炉主要用于粉末成型碳化硅制品的脱脂、烧结处理。该设备采用先进的自动化控制及人机交互系统，对温度、压力、流量等各个变量精准控制，使产品质量有明显改善。
产品参数
| 装料空间（D*H） | |
| φ400*1200 | |
| φ500*1800 | |
| **工作温度 | 2350℃ |
| 极限真空 | 1Pa |
| 真空泄漏率 | ≤5×10-3mbarl/s |
| 真空泵组 | 旋片泵+罗茨泵 |
| 脱蜡率 | ≥98% |
| 抽气速率 | ≤20min |
| 升温速率（满载、<1000℃） | ≤10℃/min |
| 升温速率（满载、≥1000℃） | ≤6℃/min |
| 低温段温度均匀性 | ≤±5℃ |
| 高温段温度均匀性 | ≤±4℃ |
| 测温方式 | Wre5-26双芯热电偶+红外测温仪 |
| 加热区数 | 三区/四区 |
| 工艺气体种类 | Ar、N2 |
| 电源 | 三相五线制 AC380V±10%/50HZ |
| 以上参可根据工艺要求进行调整，不作为验收依据，具体以技术方案和协议为准。 |