产品介绍
高端氮化硅粉体烧结炉具有H2安全保护、防窜气技术 、多段温度曲线设定，多种气体流量自动精准控制（无需人工调节）、脉冲式充气、气体循环控温、发热体衰减检测、发热体漏电监测、全面故障自诊断功能。主要用于高端氮化硅粉料的生产。
产品参数
| 装料空间（W*H*L） | 500*500*1800 |
| **温度 | 1600℃ |
| **工作压力 | 0.9bar |
| 极限真空度 | 0.5pa |
| 真空泄漏率 | ≤5×10-3 mbarl/s |
| 真空泵组 | 旋片泵+罗茨泵 |
| 升温速率 (满载、≥1500℃） | ≥8℃/min |
| 温度均匀性 | ≤±4℃ |
| 具备功能 | 真空烧结、静态烧结、气氛烧结、急速冷却 |
| 工艺气体种类 | H2 N2 Ar |