产品介绍
氮化硅陶瓷基板炉具有高稳定性、高人性化、低维护的特点,采用非接触式高温测量、真空系统过滤保护、独特尾气处理设计。主要用于氮化硅流延基板先进材料等进行真空,脱气、加压致密化等,广泛应用于航天航空、电子电器半导体等领域。
产品参数
| 装料空间(W*H*L) | 600*600*1400 |
| 温度均匀性 | ≤±4℃ |
| **工作温度 | 2200℃ |
| **工作压力 | 2MPa |
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详细信息 产品介绍 氮化硅陶瓷基板炉具有高稳定性、高人性化、低维护的特点,采用非接触式高温测量、真空系统过滤保护、独特尾气处理设计。主要用于氮化硅流延基板先进材料等进行真空,脱气、加压致密化等,广泛应用于航天航空、电子电器半导体等领域。
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