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ACME顶立科技 化学气相沉积炉 抗污染能力强 陶瓷基复合材料
化学气相沉积炉;沉积炉;气相沉积炉;碳化硅沉积炉;氮化硼沉积炉
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产品参数
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单位台
价格2685000.00/台
发货地湖南省长沙市长沙县
最高温度(℃)1500~2000
型号支持定制
真空泵机械泵组/耐腐蚀泵组
加热功率以订购设备最高温度确定功率数值
适用范围航天、航空、高铁、汽车、光伏、电子、核电等
工艺气氛真空/H2/N2/Ar/C3H6/ZrCl4/HfCl4/BCl3/TaCl5/ZrB2/HfB2/TaB2。
加热器、马弗材质石墨/CFC
包装规格木箱
保温材质碳毡/石墨毡/碳纤维固化毡
质保期一年
炉壳材质内层不锈钢/全不锈钢
适用对象航天、航空、高铁、汽车、光伏、电子、核电等
温度均匀性(℃)±5~±20
结构形式卧式-单开门/双开门;立式-上出料/下出料
生产能力年产100台套