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首页 > 供应产品 > CVD@TaC涂层系列
CVD@TaC涂层系列
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发货 湖南省株洲市天元区
品牌 湖南德智
型号 CVD@TaC涂层系列
范围 200-5000目
应用行业 抗结剂、脱膜剂、乳化剂
过期 长期有效
更新 2025-11-15 10:54
 
详细信息

材料及特性

• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm）

• 涂层：TaC（厚度<300 μm）

 

应用场景

晶圆制造

• 单晶生长

• 外延


 

实现技术

• 精密加工（石墨）

• 低压化学气相沉积（LPCVD）