产品性能:
耐高温 | 耐高压 | 耐磨 | 使用寿命高 | 耐腐蚀性 | 纯净度高 |
材料及特性
• 基材：等静压石墨（厚度>0.5 mm） | • 涂层：涂层：β-SiC（厚度<300 μm） |
应用场景
晶圆制造
• 外延 | • 扩散 |
实现技术
• 精密加工（石墨） | • 低压化学气相沉积 |
性能要求
• 致密度高 | • 结合力强 | • 高纯度 |
• 高导热 | • 耐腐蚀 | • 抗开裂 |
应用领域
• LED光电 | • 集成电路 | • 第三代半导体 |
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CVD@SiC涂层系列
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材料及特性
应用场景晶圆制造
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