CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌，保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。
产品特点
u 双等离子清洗源
u 远程清洗、检漏两用
u 快速高效
u 即插即用
技术参数
产品型号 | CIF-TEM |
真空泵 | Agilent 、IDP-3涡轮式真空干泵 |
**入口压力1.0个大气压（0psig），**出口压力1.4个大气压（6.5psig） | |
**抽速60L/min，极限真空3.3 x 10-1 mbar | |
KF16入口接口 | |
等离子电源 | 两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器 |
13.56MHz等离子RF电源，5-100W可调 | |
清洗室 | 清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm |
*多可放置3路TEM hoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆 | |
气体控制 | 美国MKS数字真空计 |
两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体 | |
控制方式 | 7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界面 |
冷却方式 | 风冷 |
电源 | 电源220V、50/60Hz |
质量保证 | 二年免费，终身维护 |