氮化铝具备优异的物理性能:
原子间以共价键相结合，化学稳定性好、熔点高;
机械强度高、电绝缘性能佳，是一种压电和介电材料;
晶体薄膜硬度高，可作为耐磨涂层;
高电阻率、较低的漏电流以及大的击穿场强，使得其成为微电子器件中绝缘埋层材料的**选择之一;
·制备工艺与CMOS兼容，可以和其他器件集成到同一芯片上;
具备非铁电材料中**的声波传播速度，且拥有****的压电响应，可用于制作高性能的声表器件;
是一种宽禁带材料，并具有直接带隙，是重要的蓝光和紫外发光材料;沿c轴取向具有非常好的压电性和声表面波高速传播性能，传声速度快，是所有无机非铁性压电材料中**的。