ASJ系列精密夹具

【产品特点】

● 所有部件由高度防腐蚀材料制成，可在强腐蚀环境里实现稳定运转；

● 通过真空直接吸附标准片样品；

● 可通过真空吸附衬底片将粘接到衬底片上的异形或厚度极薄的样片进行固定；

● 压力连续可调，工艺实施过程中厚度实时监测，精度1um；

● 通过角度调整装置，可以在+/-3度范围内对样品进行精确定向；

● 可广泛适用于固定化合物半导体材料，光电材料，金属薄膜等多种材质的样片。

【产品规格】