【设备特点】
□ 整机防腐，适应常规化学机械抛光耐腐蚀要求；
□ 样片去除厚度在线实时监测，精度1μm；
□ 可实现端面及角度研磨抛光工艺；
【设备参数】
【系列型号】
核心产品详情
HSM-L系列
产品参数
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型号HSM-L系列
详细信息
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