技术指标 | 数据 |
有效行程 | X轴:300mm Y轴:300mm |
**速度 | X轴:1000mm/s Y轴:1000mm/s |
**加速度 | X轴:0.6G Y轴:0.6G |
重复定位精度 | X轴:±0.5μm Y轴:±1μm θ轴：±2arcsec |
直线度 | X轴:±4μm Y轴:±4μm |
行走平面度 | X轴:±5μm Y轴:±4μm |
XY正交度 | ±5μm |
**负载 | 10kg |
光栅尺分辨率 | 0.1μm |
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