重复定位精度±100nm
直线度、行走平面度±1um
高动态响应特性
低静态抖动
快速整定
支持非标定制
行程 | 300mm |
分辨率 | 20nm |
**定位精度 | ±300nm |
重复定位精度 | ±100nm |
速度 | 1m/s |
加速度 | 1G |
位置稳定性 | ±20nm |
行走平面度 | ±1um |
直线度 | ±1um |
Pitch | ±2arcsec |
Yaw | ±2arcsec |
Roll | ±2arcsec |
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