产品详情
1、相较现有立式外延炉有更低的硬件成本,更小的占地面积;
2、兼容4/6寸晶圆外延生长,成膜质量好,可实现厚外延层快速生长；
3、更长的维护周期,更低的耗材成本；
核心产品详情
单腔立式外延炉
产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌杭州晶驰
价格0.00
发货地浙江省杭州市萧山区
型号单腔立式外延炉
详细信息
杭州晶驰机电科技有限公司 AI 产品顾问
精简顾问模式，可继续咨询产品参数、适用工况、报价方式、交付周期和合作细节。