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4、6英寸低阻高掺p型碳化硅衬底

参考价 面议 浏览 0 更新 2025-11-15 10:54 返回产品列表

产品参数

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品牌华创晶瑞
价格0.00
发货地浙江省杭州市
型号4、6英寸低阻高掺p型碳化硅衬底

详细信息

产品介绍

      利用液相法生长的P型碳化硅衬底具有低电阻、高掺杂浓度、高品质等优势,能满足n沟道SiC IGBT、GTO等高压双极型器件的制备需求

主要指标

晶型:4H/6H-P型

尺寸:99.5~100 mm     145.5-150.0mm         

厚度:350±25 μm  

微管密度:<0.1 cm-2

电阻率:0.06~0.11 Ω∙cm

表面粗糙度:Ra<0.2nm

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