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4~8英寸碳化硅外延

参考价 面议 浏览 0 更新 2025-11-15 10:54 返回产品列表

产品参数

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品牌华创晶瑞
价格0.00
发货地浙江省杭州市
型号4~8英寸碳化硅外延

详细信息

低缺陷密度控制技术  

技术团队依靠多年的外延工艺经验和现阶段的技术开发,不断优化和迭代自有碳化硅外延技术,同时针对不同厂家的衬底进行开发,在不同厂家的衬底进行的外延生长均能实现低缺陷密度,为器件的可靠性提供有力的保障。

高均匀性外延技术    

技术团队经过一系列的工艺优化和设备改造升级,碳化硅外延片的外延层厚度不均匀性可<0.5%,外延层载流子浓度不均匀性可<1.5%。

双激光精准缺陷扫描

已经采用双激光扫描缺陷检测设备,除了精准检测晶体表面的形貌缺陷外,对于材料内部的晶格缺陷也能精确扫描和检测。

预防器件失效技术

除了常规的量测和控制方法外,技术团队增加特殊管控方法,确保碳化硅外延片不会因外延材料质量异常导致器件失效。


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