外延片参数
第1层厚度： 250-350nm
第2层厚度： 200±20nm
第2层载流子浓度：1~3×1017cm-3
衬底参数
掺杂：Fe
晶面 ：（010）
双晶摇摆半高宽：≤350“
尺寸：10mm×15mm
尺寸偏差：<±0.3mm
厚度偏差：<±0.05mm
产品外形示意图
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氧化镓外延片
详细信息 外延片参数 第1层厚度： 250-350nm 第2层厚度： 200±20nm 第2层载流子浓度：1~3×1017cm-3 衬底参数 掺杂：Fe 晶面 ：（010） 双晶摇摆半高宽：≤350“ 尺寸：10mm×15mm 尺寸偏差：<±0.3mm 厚度偏差：<±0.05mm 产品外形示意图 |