韩国帕克股份有限公司  

Park NX-Hybrid WLI

全自动工业 WLI-AFM 系统

Park NX Hybrid    WLI是有史以来**款具有内置WLI轮廓仪的AFM，用于半导体和相关制造质量保证。例如半导体前端、后端到高级封装的过程控制，以及研发计量。它适用于那些需要在大面积上进行高吞吐量测量的设备，这些设备可以缩小到具有亚纳米分辨率和超高精度的纳米级区域。  

半导体计量的两种**互补技术。

• WLI:      白光干涉测量是一种光学技术，它可以对非常宽的区域进行成像，速度非常快，满足高吞吐量测量。

• AFM:      原子力显微镜是一种扫描探针技术，即使对透明材料也能提供*精确的纳米级分辨率测量。