■概括
螺杆式无油机械真空泵又称为干式螺杆真空泵，是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杄与右螺杄作髙速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级，气体在相等的各个槽内(柱形等螺距)进行传输运动。两螺杆经精细动平衡，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆，螺杄与泵体之间都有一定的间隙，泵工作时相互之间无摩擦，运转平稳、噪音低，且工作腔无需润滑油，因此螺杄真空泵适用于半导体、电子以及要求洁净真空的场合，完全可以代替油封式机械泵、水封式机械泵成为新一代的主要真空获得设备。
■型号/性能/参数