FIG-5离子枪
简介
ULVAC-PHI Model FIG-5型离子枪是一种高效能的溅射离子枪，它可以在高真空的条件下，有效地使用5kV加速电压。*小的离子束斑大小约为150um。此外，FIG-5型离子枪也可以工作在极低的能量范围如10eV用作中和目的，也可在200eV低能量范围用作溅射超薄薄膜。它可采用0-10V外置电源控制离子束的扫描。FIG-5型离子枪标准配置还包括差分抽气口。该离子枪的全部操作采用RS-232 接口由计算机控制。
图1 - ULVAC-PHI FIG-5型离子枪
性能规格
| 工作电压 | ： | 0-5kV |
| **束流 | ： | ≥10uA @ 5kV Beam Voltage |
| 低压性能 | ： | ≥12nA @ 10eV Beam Voltage |
| *小束斑 | ： | ≤200um |
| 离子源类型 | ： | 电子轰击 |
| 发兰接口 | ： | ICF70 |
| 工作距离 | ： | 30-70mm |