采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品，主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。
产品用途
晶圆刻蚀用下电极用加工原材料。
技术参数
外径Φ300～Φ475mm内径客户定制晶向(100), (111)型号/掺杂剂P/硼电阻率 (Ω.cm)≤0.01~100厚度客户定制其他客户定制
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详细信息 采用直拉法拉制的大尺寸高纯度单晶系列产品，主要用于晶圆加工时刻蚀工艺中使用的极关键材料。提供满足客户要求的不同尺寸、电阻率的硅棒形态单晶产品。 产品用途 晶圆刻蚀用下电极用加工原材料。 技术参数 外径Φ300～Φ475mm内径客户定制晶向(100), (111)型号/掺杂剂P/硼电阻率 (Ω.cm)≤0.01~100厚度客户定制其他客户定制 |