半导体电子显微镜
1997年FEI和飞利浦电子光学宣布合并其全球业务
2008年台式扫描电子显微镜飞纳(Phenom)进入中国市场
2012年飞纳(Phenom）台式扫描电镜全球销zui突破2000台
2013年飞纳（Phenom)发布第三代台式扫描电镜，放大倍数
10万倍，分辨率优于17nm
半导体电子显微镜
17世纪荷兰光学天才:Antoni van
Leeuwenhoek设计并制造世界
*台光学显微镜
19世纪Anton和Gerard Philips在荷兰埃因霍温创建
了飞利浦公司
1947年LePoole教授为Dorgelo教授展示荷兰*台扫描电子显微镜
飞纳(Phenom)主要特点
一长寿命/高亮度/低色差CeB6灯丝
一表面细节丰富的高质量图片
一内置彩色光学显微镜
一自动马达样品台
一30秒快速成像，操作简单
一光学与低倍电子双重导航
一防震设计，对放置环境无牛条殊要求
一样品仓低真空技术，直接观测绝缘体，c需喷金
一四分割高灵敏度背散射电子探头，兼得样品表面
形貌与成份信息