可对应高精度少量的研磨加工
应用:
半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等
精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等
晶体材料:铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等
CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4 新闻中心
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CMP高精密研磨抛光机-KD36QS4
详细信息 可对应高精度少量的研磨加工 应用: 半导体材料:Si、Ge、GaAs、蓝宝石、SiC、InP、GaN、MEMS、陶瓷基板等 精密光学:光学晶体、光学镜头、玻璃基板、ITO玻璃、蓝宝石玻璃、滤波材料等 晶体材料:铌酸锂、钽酸锂、YAG、石英、红外材料等 |