抛光盘

陶瓷抛光盘广泛用于半导体、LED晶圆的抛光、减薄工艺，适合半导体硅片、砷化镓、蓝宝石衬底、碳化硅衬底的抛光、减薄加工。超高的表面精度可以满足各类精密加工的要求，尤其是独特的高精度凸或凹的瓷盘表面，可以满足大尺寸产品的抛光需要。