连续加料直拉单晶炉 CCz
主要技术指标
1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;
2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶体;
3、加热方式:电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频率50Hz;
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详细信息 连续加料直拉单晶炉 CCz 主要技术指标 1、整机尺寸:(LWH)2000X2300X10800m; 2、主腔室内径1400mm,副炉室内径350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz热场,可拉制10英寸以下直径的晶体; 3、加热方式:电阻加热,DC电源Pmax=150:50Kw,频率50Hz; |