特长
非接触式测量不透明、粗糙，易变形的样品
反复性・再现性高
无标准曲线也可知道**厚度
测量径很小，不受斑点的影响
样品位置无需调整，放进去即可。
稳定性高，不会产生误差，所以谁都能操作。
光学方式原理所以安全
式样
构成图・原理
构成图
任何人都会测量
原理
将光分别照射样品上下部
测量距离基准面的距离。
d=dall-(d1+d2)
比较测量方法
样品例子和测量方法的比较
| 非接触光学膜厚仪 | 接触式膜厚仪 | X线式膜厚仪 | 変位計 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 样品 | 凝胶片 | ○ | × | ○ | ○ |
| 不织布 | ○ | × | ○ | × | |
| 金属板 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 树脂 | ○ | ○ | ○ | ○ | |
| 多孔质 | ○ | △ | ○ | × | |
| 陶瓷 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 紙・木 | ○ | ○ | ○ | × | |
| 测量 条 件 | 测量时间 | ○ 高速 | ○ | ○ | ○ |
| 非接触测量 | ○ 非接触 | × | ○ | ○ | |
| 前处理 | ○ 不要 | ○ | × | ○ | |
测量案例
