MCPD series 薄膜在线测量设备是光学式测量系统，可以以非接触和非破坏性的方式测量薄膜厚度、透过率、颜色等。
可测量的膜厚范围为 65 nm 到 92 μm。（以折射率n=1.5换算）
采用分光干涉法测量原理，支持多层膜厚测量，同时实现高重复性精度。采用独创的算法，可以高速实时监控，非常适合于薄膜在线测量。
| 产品信息 |
特 点
● 膜厚测量范围 65 nm ~ 92 μm（SiO2换算）
多点测量点切换对应系统
导轨测量系统
在导轨测量系统中，通过导轨机构驱动在TD方向扫描，以任意宽度和任意间距测量TD方向的膜厚分布。可以用作涂层的条件设置和运行时的实时监控。
通过导轨机构横向移动进行多点测量，无需准备多个检测器或数据处理单元。
真空环境下的多点反射 · 透过光谱测量
与各种法兰兼容的耐真空光纤，可以在高真空下测量反射 · 透射光谱。此外，采用大塚电子独创算法，不易受基膜上下移动的影响，高精度测量薄膜膜厚。可作为实时监控使用。
| 规格式样 |
MCPD-9800
| 型号 | MCPD-9800 | ||||||||
| 2285C | 3095C | 3683C | 311C | 916C | |||||
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1100 | 900～1600 | ||||
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm | 180nm～92μm | ||||
| 膜厚/反射/透过/相位差 | 〇 | ||||||||
| 色测量 | 〇 | × | |||||||
| 扫描时间 | 5ms～20s | 1ms～10s | |||||||
| 测量光斑 | φ1.2mm | ||||||||
| 光纤长度 | 1m～ 光纤长度需提前协商 | ||||||||
※膜厚值以n=1.5换算。并与式样相关。
MCPD-6800
| 型号 | MCPD-6800 | |||
| 2285C | 3095C | 3683C | 3610C | |
| 测量波长范围（nm） | 220～850 | 300～950 | 360～830 | 360～1000 |
| 膜厚范围※ | 65nm～35μm | 65nm～50μm | 65nm～45μm | 65nm～49μm |
| 膜厚/反射/透过/相位差/色测量 | 〇 | |||
| 扫描时间 | 16ms～65s | |||
| 测量光斑 | φ1.2mm | |||
| 光纤长度 | １ｍ～ 光纤长度需提前协商 | |||
※膜厚值以n=1.5换算。并与式样相关。