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氟硅酸又称硅氟氢酸，化学式为H2SiF6，是一种气态酸，无水氟硅酸是无色气体，不稳定，易分解为四氟化硅和氟化氢。水溶液无色，是强酸，有腐蚀性，能侵蚀玻璃。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液发烟，冷却时析出无色二水物(二水合氟硅酸)晶体，熔点19℃。氟硅酸有消毒性能。