金刚石
碳化硅体积分数55~70%
维氏硬度kg/mm2
8000-10000
热导率((W/mK)@25℃)
1000-2000
密度(g/cm³)
3.51
线热膨胀系数(CTE ppm/℃)
2.3
电阻率
＞1010Ωcm（底面抛光）
＞106Ωcm（生长面）
切割公差
≤0.03mm
粗糙度
≤0.03µm
毛坯厚度
0.30-2.5mm
金刚石
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