名称
参数
加工能力
(**工件尺寸)
**尺寸1000mm×600mm
**厚度200mm
可加工面形
平面、球面、非球面、自由曲面、抛物面等
可加工材料
石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等
可加工精度
X轴行程
≥1050mm
离子束抛光机ÅFiSy IFS1000-600B
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