名称 | 参数 |
加工能力 (**工件尺寸) | **尺寸1300mmmm×1300mmmm **厚度300mm，**重量700kg |
可加工面形 | 平面、球面、非球面、离轴非球面及自由曲面等 |
可加工材料 | 石英、微晶、ULE、蓝宝石、单晶硅、碳化硅等 |
可加工精度 | |
X轴行程 | ≥1350mm |
Y轴行程 | ≥1350mm |
Z轴行程 | ≥300mm |
离子源 | 德国射频离子源 |
中和器 | 德国 |
工作真空建立时间 | ≤2小时 |
副室真空建立时间 | ≤15分钟 |
保护功能 | 具限位防护、工件防护、Y轴同步保护、紧急停止、电气安全保护、真空系统安全保护、离子束抛光工艺安全保护等 |
智能功能 | 具备智能一键开机、一键停机、定时开机、定时停机、预约加工、加工保护、远程协助、日志等高级功能 |
外形尺寸 | 6.2m×4.0m×2.69m |
整机重量 | 15吨 |
能耗功率 | 总功率23kW |
离子束抛光机整体ÅFiSy IFS1300C采用双真空室、工件立式装夹、侧进的结构形式，设备装夹方便、安全，设备精度高、稳定性好。ÅFiSy IFS1300C具备3轴3联动功能，**可加工1300×1300mm尺寸的工件，可实现平面、球面、非球面、离轴非球面及自由曲面等光学元件的高精度修形。<> 埃福思科技离子束抛光机ÅFiSy IFS1300C的设备占地6.2m×4.0m×2.69m，设备所需操作空间8.0m×7.0m×3.2m，设备电源采用三相五线制380V，总功率23kVA，设备重量约15吨。