MAXIM 二次离子溅射中性粒子质谱仪可分析二次阴、阳离子动态和中性粒子，所具备的的30°接受角可形成样品粒子平面，应用于SIMS和SNMS的光学采样。
·光栅控制，增强深度分析能力·所有能量范围内，离子行程的*小扰动，及恒定离子传输·灵敏度高 / 稳定的脉冲离子计数检测器
·质量数范围： 300amu，500amu，1000amu
·检测器：离子计数探测器、正负离子探测器、107 cps
·质量过滤器： 3F四级杆
·杆直径： 9mm
·**加热： 250℃
·离子源：电子轰击，可用于SNMS和RGA的单根灯丝