该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备，配置抛光盘冷却和温度监控系统，保证抛光过程恒温，设备操作简单、配置丰富，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等（可选配车刀系统），配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。
TSP-400TSP-450
抛光盘规格OD400 mm
抛光头数量2个
抛光头加压方式砝码或真空抛光压头
抛光头摆动功能具备
单面抛光机 TSP-400 新闻中心
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单面抛光机 TSP-400
详细信息 该系列抛光机是落地式高精度单面抛光设备，配置抛光盘冷却和温度监控系统，保证抛光过程恒温，设备操作简单、配置丰富，可搭配铜盘、锡盘、玻璃盘、不锈钢盘等（可选配车刀系统），配合不同类型的抛光液，适用于各种半导体材料的抛光。 TSP-400TSP-450 抛光盘规格OD400 mm 抛光头数量2个 抛光头加压方式砝码或真空抛光压头 抛光头摆动功能具备 |