• 在线实时磨抛盘温控及冷却选配功能，盘温接近预设温度警戒值，设备会自动启动冷却功能，保持磨抛盘在工艺要求的温度范围内运转工作。
• 磨抛盘自动冲洗选配功能，可实时在线冲洗磨抛工作区域。并且流速，清洗时间等参数可精确数控。
• 设备定时功能，预设时间0-10小时。预设时间达到，设备自动停机。
核心产品详情
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高校研发用台式抛光机研磨机 晶圆磨抛机 半导体加工设备-艾姆希
半导体抛光;半导体研磨;CMP;艾姆希;晶圆磨抛机
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产品视频
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产品参数
优先展示后台已配置的完整参数品牌艾姆希
单位台
价格9999.00/台
发货地北京市丰台区
库存 / 起订59台
品牌艾姆希
是否进口否
用途范围设备主要适用材料包括： 硅，碳化硅，蓝宝石，磷化铟，砷化镓，碲锌镉，碲镉汞，光纤等多种材料
电源220-240v 10A 110v 10A 50-60HZ
环境温度20°C ± 5°C
晶圆尺寸6”
工作盘直径420mm
摆臂驱动转速0-120rpm
盘转速0-100rpm / 0-120rpm
定时时间0-10小时
进料通道1
摆臂摆动范围0-100%
固定系统组件夹具、摆臂
研磨工艺组件研磨盘、修盘块、供料桶
抛光工艺组件抛光液进料系统、抛光盘
材质防腐材质
类型抛光研磨机
详细信息
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