全自动晶圆磨边机为晶圆倒角、晶圆磨边、键合片晶圆层阶倒角的专用设备，利用精密砂轮对晶圆进行研磨整形加工。适用于2″- 6″晶圆、4″- 8″晶圆、8″-12″晶圆
l 全自动 12″, 4″～ 8″, 2″～ 6″ 晶圆磨边倒角
l Si, SiC, GaAs, LT, LN, GaN, 蓝宝石等适用
l 可进行 T、R、TT、RR、TR等边形倒角
l 适用于一次倒角及二次倒角加工
l 可自动进行粗研及精研加工
l 可选配晶圆边缘抛光功能
l 配备晶圆冲洗及干燥功能
l 具备 SECS/GEM 通讯功能
l 可与天车等 AMHS 系统对接