6英寸碳化硅炉

碳化硅作为第三代半导体材料，可用于制作新一代高效节能的电力电子器件，并广泛应用于国民经济的各个领域，如空调、光伏发电、风力发电、高效电动机、混合和纯电动汽车、高速列车等。

碳化硅晶体生长炉是生产碳化硅晶体不可缺少的关键设备。该设备采用感应加热方式，在工艺气体环境下将石墨坩埚中的碳化硅粉末升华，沉积到碳化硅籽晶上，即利用物理气相传输法（PVT 法）生长6英寸碳化硅晶体。