高效单晶圆棒是采用直拉法制备的<100>晶向的单晶，主要用于制备低衰减高转换效率的太阳能电池。高效单晶经过装料-合炉-化料-调温-稳温-引晶-放肩-转肩-等径-收尾-停炉等工序而制备得到的高纯度、高寿命、低成本、晶体结构趋近**的单晶圆棒。参数如下：
序号 | 项目 | 规格 | 检测方式 |
Material Propeties 材料特性 | |||
1 | Growth Method | Czochralski (CZ) | - |
2 | Dopant | Boron doped | - |
3 | Type | P-Type | Napson EC-80TPN |
4 | Oxygen content | ≤8.0×1017 atoms/cm3 | FTIR(ASTM F121-83) |
5 | Carbon content | ≤5.0×1016 atoms/cm3 | FTIR(ASTM F123-91) |
6 | Surface orientation | ﹤100﹥±3º | X-ray Diffraction Method |
8 | Dislocation Density | ≤500 pcs/cm² | Preferential Etch Techniques(ASTM F47-88) |
Electrical Propeties 电学特性 | |||
1 | Resistivity | ■ 0.5-1.5 Ω·cm □ 1.0-3.0 Ω·cm | 4-probe resistivity measurement |
2 | Silicon rod minority lifetime | ≥50us | Sinton BCT-400（SEMI PV13） |