北京精仪天和智能装备有限公司  

砷化镓中压单晶炉,是在惰性气体环境中,以石墨电阻加热器加热,使半导体材料熔化,用VB法生长无错位单晶的设备。也可采用VGF法或采用VB与VGF法结合的方法实现GaAs单晶生长。