结构
项目 | ZQ200C | ZQ100C | ZQ100B |
蒸汽发生器 | 1个 | 1个 | 1个 |
蒸汽站 | 1个(1/0.1 Torr) | 1个(1/0.1 Torr) | 1个(10 Torr) |
微孔站 | 1个(1/0.1 Torr) | 无 | 无 |
传感器 | 7个 | 5个 | 4个 |
冷阱 | 1个 | 2个 | 2个 |
预处理位 | 无(可原位预处理) | 2个 | 2个 |
恒温水浴 | 1个(0~50°C) | 1个(0~50°C) | 1个(0~50°C) |
1L液氮杯 | 2个 | 无 | 无 |
3L液氮杯 | 1个 | 2个 | 2个 |
机械泵 | 2个(含1个耐腐蚀泵) | 2个(含1个耐腐蚀泵) | 1个耐腐蚀泵 |
分子泵 | 1个 | 1个 | 无 |
特点
带蒸汽发生器作为吸附气气源
外气室为不锈钢模块，带恒温箱（室温~50°C）
蒸汽吸附系统，抽真空时经过冷阱
密封件采用全氟O形圈
功能
低温氮吸附法，比表面及孔径分布测试
各种气体和蒸汽的吸附等温线测试
等量吸附热测定
气体选择性吸附系数测定
技术参数
项目 | ZQ200C | ZQ100C | ZQ100B |
测试原理 | 静态容量法 | 静态容量法 | 静态容量法 |
物理吸附性能 | 比表面≥ 0.01m2/g 介孔：2 ~500nm（BJH法）微孔：0.35 ~2 nm (t图法、DR法、MP法、DA法、HK法、SF法、NLDFT法) | 同ZQ200C | 同ZQ200C |
物理吸附质 | 氮气、氩气、氪气、二氧化碳等 | 同ZQ200C | 同ZQ200C |
蒸汽吸附质 | 一氧化碳、氨气等气体以及常温下为液体的物质（有强烈腐蚀、剧毒、危险气体除外） | 同ZQ200C | 同ZQ200C但p0需大于1kPa |
物理吸附温度 | 77K，87K | 同ZQ200C | 同ZQ200C |
蒸汽吸附温度 | 0~50°C | 同ZQ200C | 同ZQ200C |
蒸汽回收 | 分析位蒸汽冷阱回收 | 分析位和预处理位双冷阱蒸汽回收 | 同ZQ100C |
预处理 | 真空原位预处理 | 预处理位+原位真空处理 | 同ZQ100C |
测试原理静态容量法
测试范围比表面≥ 0.01m2/g
介孔 2 ~500nm（BJH法）
微孔 0.35 ~2 nm (T图法、DR法、MP法、DA法、
HK法、SF法、NLDFT法)
气体种类氮、氩、氪、CO2、CO、氨、苯、甲烷、乙醇、甲醛、水蒸汽等（有强烈腐蚀、剧毒、危险气体除外）
气体发生器当吸附质在常温常压下是液体时，可通过气体发生器
形成吸附质蒸汽，满足进行气体吸附测试的要求
吸附压力 P/Po < 1 （Po吸附质在吸附温度下的饱和蒸汽压）
真空泵进口特种耐腐蚀二级旋片式真空泵，极限真空10-1Pa
分子泵
压力传感器 1000 Torr、10Torr、1Torr
吸附温度液氮杯提供液氮温度测试条件，半导体恒温水浴提供 0°~ 50°C 测试条件
进气数量按客户要求，提供4×n 个（4、8、12）独立进气口
气体回收有害气体通过冷阱回收（冷阱温度77K），确保环境和机械泵油免受污染
预处理真空原位预处理，温度≤400°C±1°C