在微孔的情况下，孔壁间的相互作用势能相互重叠，微孔中的吸附比介孔大，因此在相对压力＜0.01时就会发生微孔中的填充，孔径在0.5~1nm的孔甚至在相对压力10-5~10-7时即可产生吸附质的填充，所以微孔的测定与分析比介孔要复杂得多。显然，把BJH孔径分析方法延伸到微孔区域是错误的，两个原因，其一，凯尔文方程在孔径＜2nm时是不适用的；其二，毛细凝聚现象描述的孔中吸附质为液态，而在微孔中由于密集孔壁的交互作用，使得填充于微孔中的吸附质处于非液体状态，因此孔径分布的规律必须有新的理论及计算方法，宏观热力学的方法已远远不够。
微孔测试的硬件条件也更严苛，至少系统的真空度要求更高，孔径与填充压力的大致关系如下：
D(nm) 0.4 0.6 0.8 1.2 2.0
P/Po 10-7 10-4 10-3 10-2 10-1
需采用二级分子泵 ，并且压力传感器的精度要求更高，需增加小量程的压力传感器（10Torr 和 1Torr）进行分段测量