显著特征
• 轻松集成快速切换工作模式和光路
• CF200真空法兰
• 同时记录10-80nm范围的光谱范围
• 集成光谱滤光片
• 使用MCP检测而产生的大动态范围
• 单光子计数级别的灵敏度
• 高度集成的产品结构（16x17cm²）
技术规格
极紫外光栅 | 其他光栅 | |
光谱模式 | ||
波长 [nm] | 10 - 80 | 根据要求 |
分辨率[nm] | 0.13 - 0.25 | |
光栅效率 | ~20% | |
MCP 效率 | ~20% | |
光束分析模式 | ||
分辨率[um] | 100 | |
* 其他配置（光谱范围，等）根据要求定制
nanoLIGHT XUV光谱仪